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高纯氩和纯氩

时间:2020-11-19 20:31:12 来源:通达气体 点击:

Ar,纯氩纯度为99.9%,高纯氩纯
度为99.999%,尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/
升。氩是空气中含量最多的一种稀有气体,无
色无臭,不助燃,无毒。纯氩可用低温精馏
法制取,纯氩经铜炉高温除氧、硅胶干燥除
水、再经除氮塔进一步精馏除氮便得
99.999%的高纯氩。纯氩可配制特种混合气
和工业混合气如电光源混合气等。高纯氩作
为保护气和运载气主要用于电子工业中半导
体锗、硅等的精炼和单晶硅的制备。
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