特种气体260种的用途你都晓得不？（2）

51.三氟化硼-BF3,>99.99%,用于离子注入；另外,可作载气、某些有机反应的催化剂；精炼镁、锌、铝、铜合金时从熔化金属中除掉氮、氧、碳化物。
 
52.三氟化磷-PF3,>99%,用于外延、离子注入工序；另外用作氟化剂。
 
53.三氟化砷-AsF3,>99.9%,用途同(52)。
 
54.二氟化氨-XeF2,>99.9%,用于外延、离子注入工序；用于固定模具氨的考察及原子反应堆排放废气中氮的测定。
 
55.三氟氯甲烷-CClF3,(R-13),>99.995%,用于等离子干刻工序；冷冻剂、空调均可用。
 
56.三氟甲烷-CHF3,(R-23),>99.999%,用于等离子干刻工序;低温冷冻剂。
 
57.三氟化氮-NF3>99.99%,用于等离子干刻工序;火箭推进剂、氟化剂。
 
58.三氟嗅甲烷-CBrF3,(R13B1),>99.99%,用于等离子干刻工序;还用于空调、低温冷冻及灭火剂。
 
59.三氟化硼-11-B11F3,>99.99%,用于离子注入工序(天然硼的同位素,含11B8l%,10B19%。出售的11B是浓缩含有96%同位素BF3);还用于制备光导纤维。
 
60.四氟化碳-CF4,(R-14),>99.99%,用于等离子干刻工序;在很低温度下作为低温流体用;也用于中性及惰性气体。
 
61.四氟化硫-SF4,>98%,用于等离子干刻工序;氟化剂、表面处理剂。
 
62.四氟化硅-SiF4,>99.99%,用于化学气相淀积工序;制备氟硅酸及其盐类。
 
63.四氟化锗-GeF4,>99.999%,用于离子注入工序。
 
64.五氟化磷-PF5,>99.9%,用于离子注入、等离子干刻工序;另外,用作氟化剂,聚合、烃化及脱烃化反应、烃类裂化反应时作催化剂。
 
65.五氟氯乙烷-C2ClF6,(R-115),>99.99%,用于等离子干刻工序;另外,作冷冻剂、烟雾喷气剂。
 
66.五氟化砷-AsF5,>99%,用于外延、离子注入工序,氟化剂。
 
67.六氟乙烷-C2F6,(R-116),>99.99%,用于等离子干刻工序;用作冷却、冷冻剂和空调;单体生产的原料;化学反应中的添氟剂、电器设备的绝缘剂。
 
68.六氟化硫-SF6,>99.99%,用作标准气;用于化学气相淀积工序;由于在高电压下具有很高的电阻,用作电器设备的绝缘剂;检漏气体,实验室中作色谱仪的载气。
 
69.六氟化钨-WF6,>99.99%,用于化学气相淀积工序;强烈的氟化剂;也用作钨载体。
 
70.六氟化氧-(CF3)2O2,>99.99%,用于等离子干刻工序。
 
71.六氟乙酰-(CF3)2CO,>99.99%,用途同(70)。
 
72.六氟乙酞氧-(CF3CO)2O,>99.99%,用途同(70)。
 
73.六氟化铼-ReF6,>97%,用于离子注入工序;氟化剂。
 
74.八氟丙烷-C3F8,(R-218),>99.9%,用于等离子干刻工序;与氟利昂相混合作冷冻剂;高压电的绝缘剂。
 
75.八氟环丁烷-C4F8,(RC318),>99.99%,用于等离子干刻工序;用作冷却剂、冷冻剂;作电器和电子设备的气体绝缘。
 
76.十二氟戊烷-C5F12,>99.9%,用于等离子干刻工序;也可与CF4相混用。
 
77.三甲基铝-(CH3)3Al,>99.999%,用于化学气相淀积工序;金属的有机合成。
 
78.三甲基镓-(CH3)3Ga>99.999%,用途同(77)。
 
79.三甲基锑-(CH3)3Sb,>99.999%,用途同(77)。
 
80.三甲基锢-(CH3)3In,>99.999%,用途同(77)。
 
81.三乙基铝-(C2H5)3Al,>99.999%,用途同(77)。
 
82.三乙基镓-(C2H5)3Ga,>99.999%,用途同(77)。
 
83.四乙基铅-(C2H5)4Pb,>99.999%,用于化学气相淀积工序。
 
84.丙烯腈-C3H3N,>99.9%,用于等离子干刻工序。
 
85.1,1,2-三氯乙烯-C2HCl3,>99.99%,用作标准气、校正气、医疗气;用于半导体器件制备工艺中热氧化工序;另外,用于金属的脱脂剂和脂肪、油、石蜡等萃取剂,衣服干洗,冷冻剂,杀菌剂。
 
86.甲烷-CH4,99.999%,用作标准气、校正气、在线仪表标准气;作燃料、宇宙飞船中气体电池。
 
87.甲烷硫醇-CH3SH,>99.5%,用作标准气、校正气;用于有机合成;作为喷气燃料添加剂,杀真菌剂和蛋氨酸的中间体。
 
88.一甲胺-CH3NH2,>99%,用于硫化促进剂、药物、染料和炸药等,并作溶剂、有机合成、醋酸人造纤维。
 
89.甲醇-CH3OH,>99.9%,用作标准气,与空气混合后作校正气;用于制备甲醛和农药乡用于有机物质的萃取剂和酒精的变性剂。
 
90.二甲胺-(CH3)2NH,>99%,用作抗氧化剂;在溶液中作浮洗.剂、汽油稳定剂、橡胶加速剂等。
 
91.二甲醚-(CH3)2O,>99.9%,在化学工业中用作配制合成橡胶和甲硫醚;用作甲基剂、萃取剂、溶剂;也用作制冷剂。
 
92.乙炔-C2H2,>99.9%,用作标准气、校正气;化学工业中的中间体,如制备乙烯、乙醛、醋酸乙烯、氯乙烯、乙烯醚等;用于原子吸收光谱。
 
93.乙烯-C2H4,>99.99%,用作在线仪表标准气、标准气、校正气;是化学
 
工业合成中的重要原料,生产塑料的中间体,生产乙醇、醋酸、氧化乙烯、氯乙烯、乙苯等的原料;也用于焊接和切割、冷冻剂、某些水果、蔬菜生长的加速剂。94.氧化乙烯-C2H4O,99.9%,用作标准气、校正气、医疗气;与CO2、R11、R21相混合作消毒剂,文物保管,皮革消毒,清洗衣料均可采用;化学工业中用作中间体,生产液体或固体聚乙二醇、乙醇胺类等。
 
95.溴代乙烯-C2H3Br,>99.9%,用作有机合成的中间体,用聚合法与共聚法来制备塑料。
 
96.一乙胺-CH3CH2NH2,>99%,水溶液中含有70%乙胺,作为下列化学工业制备中的中间体:着色剂,电镀池、硫化增速剂等;还用于制药、表面活性剂、萃取剂。
 
97.四氟乙烯-C2F4,>99%,在生产塑料时作为一种重要的单体,如泰氟隆等。
 
98.乙醛-CH5CHO,>99.9%,用作校正气;用于制备酷酸、醋醉、醋酸乙酷、正丁醇、合成树脂等。
 
99.二甲基二硫醚-CH3S2CH3,＞99.9%,用作校正气、溶剂。
 
100.二甲基硫醚-CH3SCH3>99.9%,用作校正气、溶剂。